美国AJA 研发型磁控溅射源

 研发溅射源（HV 或UHV）

AJA 国际公司从1991 年来已经研发了上百种不同类型的磁控溅射源，其中包括许多定制化溅射源。根据基片几何形状，腔室结构，靶材材料组成和薄膜规格的不同需求可选择不同型号溅射源，如矩形，圆形，塔式和圆柱形。详情如下或联系AJA.

典型特点

Modular magnet array isolated from cooling water
模块化磁铁组合，与冷却水隔离
Magnetic material sputtering of thicker targets
更厚的靶材磁性材料溅射
Easy removal of larger magnetic targets
易于更换更大磁性靶材
Integral gas injection and chimney system
内部注气和气路管道系统
Efficient target cooling with no vacuum/water seals
高效靶材冷却，无真空水密封
Clamped target mounting for optimal heat transfer
靶材夹紧装置，优化热传递
RF & DC compatibility
RF&DC 兼容
Rugged HV construction

加固HV 结构
Operating pressure: (0.3 mTorr - 1.0 Torr)
操作气压(0.3 mTorr - 1.0 Torr)
In-situ tilt or manual tilt for optimum uniformity
内置偏转或手动偏转，获得最佳均匀性
Custom versions available
可定制化型号
Source/power supply/target packages available
溅射源/电源/靶材包装

典型应用

CD/DVD disk coatings (e.g. reflective, phase change)
CD/DVD 光盘镀膜（如反射，相变）
Semiconductor
半导体
Conductive metal/resistive metal/Insulating Films
导电金属/电阻金属/绝缘薄膜
Transparent electrical conductors (e.g. ITO)
透明电导体（如ITO)）
Optical communications applications (e.g. pump lasers)
光学通信应用（如泵补激光）
Wear resistant films
耐磨薄膜
Lens coatings (reflective/anti-reflective/ hard/color)

透镜镀膜（反射/防反射/坚硬/色彩）
Precious metals (for maximum target utilization)
贵金属（最大靶材利用率）
Thin film sensors
薄膜传感器
Coatings for surgical/medical implements & implants
外科/医药实施&移植镀膜
Magnetic storage media and heads (HD, GMR , TMR)
磁性储存媒介和测头（HD, GMR , TMR）
Photovoltaic thin films (solar cells)
光伏薄膜（太阳电池）

重庆眺望科技-美国AJA中国区总代理

致电可获更多详情。