美国AJA ATC ORION系列磁控溅射镀膜系统

 AJA致力于研发生产薄膜沉积系统，包括磁控溅射系统，电子束蒸发系统，热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品牌，开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源畅销世界，AJA国际公司不断突破自己，发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿，但从未被超越。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。

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AJA国际公司ATC ORION系列磁控溅射镀膜系统是热销的ATC系列下的一款结构紧凑型设计，拥有高性价比。

这些高压和超高压溅射系统不仅沿用了许多技术成熟的ATC-V和ATC-F溅射系统的设计特点和通用部件，还能提供一些特有的功能，例如可调式气体路管（已申请专利），其旨在优化沉积均匀性。标准的ATC ORION模块（腔体，框架，集群法兰等）一般都有现货，因此AJA能够缩短交货时间。这些系统配置了AJA的特有ST-20-O（HV）和A320-XP-O （UHV）磁控溅射源（2英寸和3英寸），并且可以安装加热至850 °C的基片加热器，最大可放置直径为4英寸的基板，直径为5.25" 和4" x 4"的基片能够配置特殊的基片支架，最高可加热至 350°C。

设备特点

腔室尺寸10", 12" 和 14" 

高真空和超高真空型号

1.5", 2" 和3" 溅射源

基片支架最大尺寸 6" 

预真空室

基片片盒

自动加载

电脑控制

定制化系统

优于台式系统

美国AJA ATC ORION系列磁控溅射镀膜系统

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