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旋转锌锡或铜锌锡（ZnSn）靶熔铸旋转靶材系列

发布时间：2014-03-17 10:12:30

旋转锌锡或铜锌锡（ZnSn）靶

(ZnSn/Cu₂ZnSn Rotary Sputtering Targets)

技术指标：(Technical Data)

成分 (Composition)：Zn: 50±0.5 wt% ，Sn:50±0.5wt%

纯度(Purity)：99.9%，

密度(Density)：7.2 g/cm3

晶粒尺寸(Grain size)<100um

电阻率 (Resistivity)：12.2 ×10-8Ω·m

表面光洁度 (RMS)：Ra0.8

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