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旋转锌铝（ZnAl）靶熔铸旋转靶材系列

发布时间：2014-03-17 10:17:54

旋转锌铝（ZnAl）靶

(ZnAl Rotary Sputtering Targets)

技术指标(Technical data)：

成分(Composition)：Zn: 98 wt% ，Al:2±0.5wt%

纯度(Purity)：99.9%，

密度(Density)：7.2 g/cm3

电阻率(Resistivity)：20 ×10-8Ω·m

晶粒尺寸(Grain size)<100um

表面光洁度(RMS)：Ra0.8

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