宝鸡创信长期供应铪靶

发布时间：2014-09-02 10:37:50

品名	纯度	密度	镀膜优势色	形状	常规尺寸	应用行业
钛铝（TiAl）合金靶	2N8-4N	3.6-4.2	玫瑰金/咖啡色	圆柱形	直径 60/65/95/100*30/32/40/45mm	装饰 / 工具
纯铬（Cr）靶	2N7-4N	7.19	白色/黑色	圆柱形
纯钛（Ti）靶）	2N8-4N	4.51	金黄色/枪黑色蓝色/玫瑰红	圆柱形
纯锆（Zr）靶	2N5-4N	6.5	金色	圆柱形
纯铝（Al））靶	4N-5N	2.7	银色	圆柱形
纯镍（Ni）靶	3N-4N	8.9	金属本色	圆柱形
镍钒（Ni）靶	3N	8.57	蓝绿色	圆柱形
纯铌（Nb）靶	3N	8.57	白色	圆柱形
纯钽（Ta）靶	3N5	16.4	黑色/紫色	圆柱形
纯钼（Mo）靶	3N5	10.2	黑色	圆柱形

2 靶材的主要性能要求编辑

靶材的主要性能要求:

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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